气体质量流量控制器流量计MFC/MFM
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上海洪柯自动化仪表有限公司推出的D系列气体质量流量计(M flow meter, 简称MFM) f气体质量流量控制器(M Flow Controller,简称MFC)用于测量/控制微小流量气体流量。微流量气体流量计/控制器小量程为0-2SCCM (标准毫升每分钟),大量程为0-2000SLM(标准升每分钟),具有高、重复性好、量程宽、稳定等特点,在半导体集成电路、特种材料、石化、医药、真空等领域,广泛用于镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体采样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器,也可以用在各类实验室作为流量检验的标准流量计。我公司应广大用户要求,推出了爆系列流量计/流量控制器,主要有爆型气体质量流量计,爆型气体质量流量控制器,一体化显示爆型气体质量流量计,一体化显示爆型气体质量流量控制器,主要用于氢气,天然气,甲烷、乙烷等具有爆要求的气体,供电电源24VDC 500mA, 控制信号4- 20mA或RS485,可带一体化液晶显示器,卡套连接,VCR连接,法兰连接等。 D500系列气体质量流量计f气体质量流量控制器由气体质量流量传感器{ 气体质量流量控制器还包括电磁调节阀)、信号线电源线、气体质量流量显示仪{气体质量流量显示控制仪)等构成。项目型号  主要技术指标

流量范围:0~2, 0~5, 0~10, 0~20, 0~30, 0~50, 0~100, 0~ 200, 0~300, 0~500 SC   0~1,2,3,5,10,20,30,50, 100, 150, 200, 300, 500,1000, 1500, 2000,2500, 3000 SLPM

准确度%FS:士1.0%FS,士1. 5%FS, 士2.0%FS

性能:量程比50:1,

重复性士0.2%FS,响应时间1~4s

工作压差:0. 05~0.3MPa, 0.3-1.OMPa,或按用户要求定制耐压MPA:3MPa,10MPa,15MPa,大25MPa

介质温度:0~60°C 

输出信号:0~5VDC, 4-20mA,RS232,RS485

电源:±15VDC/50mA、 24VDC/300mA 220VAC电源适配器

外形尺寸:158 x 30x128,185x45x145不等

气路连接:双卡套3, 6, 8, 10, 12mm, ; swagelok双卡套1/8", 1/4",3/8”, 1/2”,3/4"; VCR接头1/8”,1/4",3/8”, 1/2”法兰DN25重量:1.2、2.5、4、6、10不等

以标准状态下(0°C 101325Pa) 氮气进行标定,其他气体乘以转换系数或者按用户指定气体进行标定D600系列数字式-体型气体质量流量计/气体质量流量控制器参数表D600系列一体型气体质量流量计/气体质量流量控制器是我公司新推出的数字化流量计产品。它采用单电源供电(6~16VDC或24VDC),一体化液晶显示瞬时流量、累积流量,对于气体质量流量控制器,更是集成了电磁调节阀,可以直接在液晶面板.上设定控制瞬时流量,也可以直接连电脑显示控制;数字,模拟输入输出;具有多气体多量程,高等特点。

流量范围:0~5,10,20,30,50,100,200, 300,500 SCCM/ SC          

      0~1,2,3,5,10,20,30,50,100, 150, 200, 300,500, 1000, 1500, 2000, 2500, 3000 SLM/SLPM

准确度:土1%FS性能:

线性士0.5~2%FS 

重复性士0.2%FS响应时间1~4s

工作压差(对MFC):0. 05~0.3MPa,0. 3-1.OMPa,或按用户要求定制

大耐压:3MPa, 10MPa, 15MPa, 大25MPa

工作温度:0~60°C

输出信号:0~5VDC, 4-20mA, RS485, RS232

电源:12VDC/1A, 24VDC 500mA, 220VAC电源适配器

气路连接:双卡套3, 6, 8, 10, 12mm, ; swagelok双卡套1/8", 1/4",3/8”, 1/2”,3/4"; VCR接头1/8”,1/4”,3/8”, 1/2”法兰DN25 

备注:此价格增值税,如需开票,加10%,下单前请与客服联系,并提供开票资料,谢谢。