SF6气体回收充气装置由真空泵、压缩机、贮存容器、油过滤系统、干燥净化系统、制冷机组以及各类阀门、仪表等组成。其系统原理图见图2，部件表见表1。本装置采用冷冻液化法原理，即在回收SF6气体时，根据SF6的压力－-温度特性(见附图1，SF6饱和蒸汽压力曲线)，在较低的SF6压缩机工作压力(<2.0Mpa)条件下，利用制冷机组使SF6降温至其冷凝温度以下，使之形成液态进行贮存或充灌钢瓶。同时在运行过程中，装置所设置的油过滤系统和干燥净化系统对回收来的SF6进行滤油和干燥净化处理，使得油分<10PPM/G(重量比)，水分<60PPM/V(体积比)。

本装置具有回收、充气、抽真空、贮存和气体干燥净化等多种功能，同时还具备有充灌钢瓶的能力，即在回收SF6气体的过程中，利用在制冷机组作用下的SF6液态的过冷度，将液态SF6充灌入钢瓶。