压电物镜扫描器   

芯明天科技——压电纳米定位行业！产品定制服务我们更！每年参加展会：LASER World of PHOTONICS CHINA慕尼黑上海光博会、北京光电周ILOPE、深圳光博会CIOE。

P72-压电物镜扫描器为小体积大行程压电物镜扫描器，内置压电陶瓷，闭环高，响应速度快、满行程线性度达纳米量级，可进行激光聚焦，已广泛应用与晶圆切割、半导体及微电子加工领域。

特点：

运动范围100μm

定位达纳米级

响应速度可达毫秒级

直线运动无偏航

应用：

晶圆切割  生物显微  白光干涉  原子力显微镜  差动聚焦检测系统  显微光学成像