天津中精微仪器设备有限公司
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气浮气浮平移台系列是经过我们长期不懈努力推出的,高、刚度强,已获。国内外水平
气浮平移台实现了设计定型,可以快速订制,行程250mm(12寸)XY台正在备现货。
我公司的气浮平移台产品,一般采用直线电机、光栅尺配合气浮导轨的方法,分辨率200nm,等同于光栅。也可提供双频激光反馈控制,稳定可达20nm,有成功。采取隔尘措施后,可应用于高生产场合。可提供长行程单轴工作台。也可采用音圈电机、高丝杠配合我们的5自由度气浮联轴器,驱动工作台。平移台可以安装气浮主轴和气浮转台。
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