数字式气体质量流量控制器 CS100 七星华创流量计有限公司±0.35％F.S
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图文详情
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产品属性
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| 产品型号 | |
|---|---|
| 产品类型 | 高型,快响应型,全金属密封型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰 |
| 流量量程 | 1sccm,2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm |
| 产品 | ±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.) |
| 重复 | ±0.2% FS |
| 线性 | ±0.5% F.S. |
| 响应时间 | ≤1sec |
| 工作温度范围 | (0~50)°C |
| 耐压 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,金属密封 Metal |
| 输入输出信号 | (0~5)VDC |
| 电源 | ±15V,24V |
| 阀类型 | 常闭 |
| 温度系数 | Span: ≤±0.05% F.S./℃,Span: ≤±0.1% F.S./℃ |
| 零点飘移指标 | - 无 - |
| 电气连接 | Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male |
| 工作压差范围 | (0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm） |
| 漏率 | 1×10-9atm?cc / sec He（1×10-10 Pa?m3 / sec He） |
| 标准接头形式 | 双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头 |
| 表面化学成分 | |
| 表面粗糙度 | 25μinch |
| 抗电磁干扰 | - 无 - |
| 重量 | 1.2Kg |