X.Y轴测量(μm)3+L/150

Z轴测量(μm):5+L/100

重复（mm）0.005

运动速度(mm/s):XY轴=0~150    Z轴=0~100

光栅尺:1.0μm分辩率玻璃光栅尺

图像传感器CCD:HC536 700线工业彩色相机

视频采集卡：高解晰度彩色视频卡

导轨:Z轴：“HIWIN”P级直线导轨      X、 Y轴：精密V型导轨

丝杆：“TBI”研磨滚珠丝杆    

光学系统:6.5:1连续变倍卡位镜筒

放大倍率:光学放大倍率:0.7-4.5X;影像放大倍率:24-158X

软件:CNC全自动测量软件

轮廓光源系统:LED冷光源,256级亮度程控可调

表面光源系统:四环八区LED冷光源,各区独立操控,256级亮度程控可调

运动控制3400全闭环控制系统

电 机：交流同步伺服电机

操作方式:软件