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半导体材料气体 XP-703D 日本新宇宙厂家
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北京万聚恒鑫科技有限公司

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* 适合于检测半导体特气的微量泄漏
* 采用声光报警

型号XP-703D
检测对象气体半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）
检测原理热线型半导体式
采样方式自动吸引式
可检测浓度
（单位：ppm）		砷烷　　磷烷　　乙硼烷　　硅烷　　氢气 
AsH3　　　PH3　　　B2H6　　　SiH4　　H2 
0.2　　　0.3　　　0.1　　　0.5　　1.0
检测表示蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度10秒以内