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X射线荧光测厚仪_天瑞仪器
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江苏天瑞仪器股份有限公司

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 X射线荧光测厚仪是对材料表面保护、装饰形成的覆盖层进行厚度测量的仪器，测量的对象包括涂层、镀层、敷层、贴层、化学生成膜等。镀层厚度测试方法主要分为：电涡流法、磁感应法、金相法、库仑法以及X射线荧光法。今天，我们主要为您讲解后三种方法的区别以及关系。

 1、测量原理比较
测试方法 测试原理 
金相法 利用金相显微镜放大横截面的原理，对镀层厚度放大，进行观测及测量。 
库仑法 利用适当的电解液阳极溶解限定面积的覆盖层，根据所耗的电量计算出覆盖层的厚度。 
X射线光谱法 利用X射线与基体和覆盖层的相互作用产生的离散波长和能量的二次辐射强度与覆盖层单位面积质量之间存在一定的关系。根据校正标准块提供的单位面积质量的覆盖层校正这一关系，给出覆盖层线性厚度。 
 2、标准、要求、仪器的选型
测试方法 参考标准 样品要求 仪器 
金相法 ASTM B487；GB/T 6462  镀层厚度不小于1um 切割机、真空浸渍仪、研磨机、金相显微镜 
库仑法 ASTM B764；GB/T4955  平面不小于5mm2电解测厚仪 
X射线光谱法 ASTM B568； GB/T16921 测试面积大于0.05×0.25mm X-ray镀层测厚仪
 3、测试因素比较

金相法 库仑法 X射线光谱法 
测试范围 ＞1um 0~35um 重金属0~10um 、其它0~35um 
测试 高 稍差 高 
制样 制样复杂 配置不同电解液 简单 
工件损伤 有损 有损 无损 
操作方法 操作复杂 复杂 简单 
测试效率 非常低 低 高 
层数 不限 单层和Cr/Ni/Cu复合镀层 多5层 
镀层预知 不需要 需要 需要 
合金镀层厚度 可测 不可测 可测 
合金成分 EDS联用 不可测 可测 
溶液成分测试 不可测 不可测 可测 
人为因素 影响大 影响大 影响小 
价格 较高 低 高 
  4.应用X荧光法的优势1.x射线电镀层测厚仪样品处理方法简单或无前处理2.可快速对样品做定性分析3.对样品可做半定量或准定量分析4.谱线峰背比高,分析灵敏度高5.不破坏试样,无损分析6.试样形态多样化(固体、液体、粉末等)7.设备可靠、维修、维护简单8.快速：一般测量一个样品只需要1～3分钟，样品可不处理或进行简单处理。9.无损：物理测量，不改变样品性质10.准确：对样品可以分析11.直观：直观的分析谱图，元素分布一幕了然，定性分析速度快12.环保：检测过程中不产生任何废气、废水 5.X荧光镀层测厚仪Thick800A仪器介绍Thick800A是天瑞仪器销量的镀层测厚仪；仪器采用上照式结构，测试，软件界面简洁，测试样品用时40S，售后服务可靠及时。仪器性能特点1.满足各种不同厚度样品以及不规则表面样品的测试需求2.φ0.1mm的小孔准直器可以满足微小测试点的需求，可以对同一镀件不同部位测试厚度3.高移动平台可定位测试点，重复定位小于0.005mm4.采用高度定位激光，可自动定位测试高度5.定位激光确定定位光斑，确保测试点与光斑对齐6.鼠标可控制移动平台，鼠标点击的位置就是被测点7.高分辨率探头使分析结果更加精准8.良好的射线屏蔽作用9.测试口高度敏感性传感器保护 仪器参数规格1   分析元素范围：S-U2   同时可分析多达5层以上镀层3   分析厚度检出限达0.005μm4   多次测量重复性可达0.01μm5   定位：0.1mm6   测量时间：30s-300s7   计数率：1300-8000cps8   Z轴升降范围：0-140mm9   X/Y平台可移动行程：50mm(W)×50mm(D) 仪器软件优势:                                     仪器采用天瑞软件研发团队研发的能量色散X荧光FpThick软件，先进的FP法和EC法等多种方法嵌入的人性化应用软件，具有高灵敏度、测试时间短、一键智能化操作。谱图区域采用动态模式，测试时元素观察更直观。软件具有多种测试模式设置和无限数目模式自由添加，内置强度校正方法，可校正几何状态不同和结构密度不均匀的样品造成的偏差。 测试实例镀镍器件是比较常见的电镀器件，其镍镀层在保护铜基体免受氧化同时还能起到美观的作用。这里以测试客户的一件铜镀镍样品为例说明此款仪器的测试效果。
以下使用Thick800A仪器对铜镀镍样品实际测试Ni层厚度，七次的结果其标准偏差和相对标准偏差。且可在样品上进行定位测试，其测试位置如图。
        
                                                                   铜镀镍件X射线荧光测试谱图 
样 品 名成分Ni(%)镀层Ni(um)
吊扣10019.321
吊扣2#10019.665
吊扣3#10018.846
吊扣4#10019.302
吊扣5#10018.971
吊扣6#10019.031
吊扣7#10019.146
平均值10019.18314
标准偏差00.273409
相对标准偏差01.425257
铜镀镍件测试值结论

实验表明，使用Thick800A 仪器对镀件膜厚测试，结果准确度高，速度快（几十秒），其测试效果完全可以和显微镜测试法媲美。

 X射线荧光测厚仪厂家介绍

江苏天瑞仪器股份有限公司是生产镀层测厚仪，气相色谱质谱联用仪,镀层测厚仪，等离子发射光谱仪,ROHS分析仪，ROHS检测仪，X射线镀层测厚仪，气相色谱仪，ROHS测量仪，液相色谱仪，ROHS2.0分析仪，XRF合金分析仪，X荧光光谱仪，汽油中硅含量检测仪， ROHS检测仪器，手持式合金分析仪等，涉及的仪器设备主要有EDX1800B,Thick800A，Thick8000，ICP2060T,GCMS6800，ICPMS2000等。


天瑞仪器镀层测厚仪展厅


移动平台:

精密二维移动样品平台，探测器和X光管上下可动，实现三维移动。

样品腔尺寸:

439mm×300mm×50mm

分析范围:

同时可以分析30种以上元素，五层镀层