行程(mm)

300×200×200

400×300×200

500×400×200

外形尺寸(mm)

850×1300×1500

1000X1400X1500

 1200X1500X1500

金属台面尺寸（mm）

460X360

560X460

660X560

工作台玻璃尺寸（mm）

340X250

450X360

560X470

重量(kg)

        250

350

450

承重(kg)

20

25

25

X 、Y轴测量(μm)

 3.0+L/150

Z轴测量(μm)

5.0+L/100

X、Y轴运动速度

0-200mm/S

Z轴运动速度

0-100m/S

重复（mm）

 0.003

操作方式

 软件

光栅尺

0.0005mm玻璃光栅

X、Y轴导轨

 精密级交叉导轨

Z轴导轨

台湾“上银”H级精密直线导轨

Z轴丝杆

台湾“TBI”研磨滚珠丝杆

轴承

日本原装“NSK” 双例组合向心球轴承

电机

“TIGER”交流同步伺服电机，定位≤0.003mm

运动控制器

HZ-4000（全闭环控制器）

摄像机

HZCCD 700线彩色高清晰度摄影机

视频卡

SV-2000高解析度彩色视频卡

光源

轮廓光

轮廓光  LED冷光源，光加装聚光镜片实现平行光照射

表面光

 LED冷光源，软件操控，减少电气元件损坏。

光学镜头

0.7-4.5X卡位镜头，1:6.5变倍比

放大倍率

光学放大倍率：0.7～4.5×；影像放大倍率：24～158X

软件

YR-CNC全自动测量软件

电脑

联想电脑：2G硬盘、500G内存、18.5寸液晶显示器、DVD光驱

电源

220V/50Hz/3A

工作环境

温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80%

影像仪桌

内置开关电源、控制器、电机驱动器、电源控制开关、指示灯、急停开关、移动滚轮

保修期

12个月