三维表面轮廓仪是德国进口的高多功能表面轮廓测量仪器，也是一款光学轮廓仪,非常适合对表面几何形状和表面纹理分析。

三维表面轮廓仪根据国际标准计算2D和3D参数，使用新的ISO 25178 标准表面纹理分析，依靠新的 ISO 16610 滤除技术进行计算，从而保证了国际公信力，以标准方案或定制性方案对2D轮廓或三维轮廓表面形貌和表面纹理，微米和纳米形状，圆盘，圆度，球度，台阶高度，距离，面积，角度和体积进行多范围测量，创造性地采用接触式和非接触式测量合并技术，一套表面轮廓仪可同时具有接触式和非接触式测量的选择。

三维轮廓仪参数：

定位台行程范围：X: 200 mm    Y: 200 mm    Z: 200 mm (电动)

接触式测量范围： 范围0.1mm, 分辨率2nm, 速度 3mm/s

                 范围：2.5mm 分辨率40nm, 速度3mm/s

非接触式测量范围：

                范围：300um, 分辨率2nm, 速度30mm/s

                范围：480um, 分辨率2nm, 速度30mm/s

                范围：1mm, 分辨率5nm, 速度30mm/s

                范围：3.9mm , 分辨率15nm, 速度30mm/s

表面轮廓仪应用：

测量轮廓，台阶高度，表面形貌，距离，面积，体积

分析形态，粗糙度，波纹度，平整度，颗粒度

 摩擦学研究，光谱分析