表面形貌仪又称为光学形貌仪或三维形貌仪，它除了用于测量物件的表面形貌或表面轮廓外，表面形貌仪具有测量晶圆翘曲度的功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。
三维形貌仪主要应用领域
用于太阳能电池测量
用于半导体晶圆测量
用于镀膜玻璃的平整度（Flatness)测量
用于机械部件的计量
用于塑料,金属和其他复合型材料工件的测量

表面形貌仪产品特色
*除了表面形貌的测量，还可以测量张量和应力（简单）；
*可测量晶圆的尺寸为0.5''到12'', 可达45x45cm的尺寸，对于小于0.5''的晶圆或样品，可配备微距镜头。
*测量晶圆或其他样品的表面形貌,粗糙度和翘曲度；
*克服常见干涉仪在粗糙表面（油漆）表现不足的问题；
*非接触式测量