一、H2O2气测仪传感器选型

二．SiH4传感器结构

三．模块开发方案

模块特色：

 1. 选用的电化学传感器，使用寿命长；

2. 选用高的运放和电源IC，性能稳定，灵敏；

3、可以检测低浓度或高浓度的有毒气体；

4、产品设计干扰能力强、量程保护、反性保护和雷保护；

5、产品设计低功耗，网络RS485输出；

6、模块传感器的安装方式：泵吸式、扩散式、法兰式、法兰螺纹式；

主要参数指标：

检测原理：电化学原理

安装方式：扩散式、泵吸式、法兰式、螺纹式

响应时间：30 S～40 S（传感器的响应速度）

检测：≤±3%FS（实际浓度，更高视具体传感器而定）

重 复 性：≤±2%

性线误差：≤±2%

点漂移：≤±2%（F.S/年）

工作温度：－40～50℃

工作湿度：15-90%RH (无结露)

信号输出：数字TTL信号输出 、RS485输出、4-20mA输出

工作电压：DC 12-36 V

五．传感器应用

   传感器广泛应用于微电子、光电子工业， 用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层， 并且是迄今世界上的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。
         现在电子气体的使用越来越多，半导体的生产、LED的生产、晶体加工、精密加工等行业带来很多麻烦，这些毒气的检测都离不开SIH4.

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六．传感器图片