高位移传感器KD5100测量压电双晶片微夹钳的振动

随着微机电系统(MEMS)技术和精密机械加工技术的发展,越来越多的微小零件被加工制造出来,需要通过装配实现完整功能。压电双晶片微夹钳在微装配领域有着广泛应用,其夹持对象一般为几何尺寸在10 m～1 mm范围的微小型结构件。由于夹持对象尺寸小,结构易被损坏,微夹钳必须具有夹持力检测对象功能用以监控操作过程中零件所受夹持力大小,并以此作为反馈进行对微夹钳张合量的控制。

   这样的微夹钳的振动位移是非常小的，一般也就是是微米到几十微米的变化，对于选择测量的仪器就必须要有高的仪器，一般选择传感器的原则都是选择比要求小一个数量极的，也就是选纳米级的传感器。

 压电双晶片微夹钳 

   我们选择了纳米级的电涡流传感器KD5100，我们将两个探头安装在被测物振动方向的两端，测量夹持器的来回振动：如下图

探头安装的位置示意图

电涡流传感器KD5100其采用差动测量方式：两个匹配的传感器被放置在被测物平台两侧，这两个传感器组成了平衡桥电路相反的两端，这个结构提供了极好的线性和热稳定性，所以其输出准确地记录了线性的微小移动，分辨率高达1nm。

产品特点：

l  每通道两个匹配的传感器使分辨率达到1nm；

l  超耐热，长时间稳定：1.27x10^-4mm/月或更好；有耐低温传感器；

l  非常高的灵敏度，到394 mV/μm；

l  低功耗：小于2W(±15 Vdc典型情况下)

成都洪胜科技有限责任公司致力于引进国外先进传感测量技术及产品；基于多种进口高端 传感器，以及软件测量技术、无线传感器技术及相关制造业的发展方向，集研究、 开发、销售、技术支持、售后服务为一体的高科技产业公司。洪胜科技所处的自动 化传感器领域前景十分广阔，并服务于国内很多高端制造业。