工作台金属台面（mm）

500*300

工作台玻璃台面（mm）

350*280

工作台行程（mm）

300*200

仪器重量（kg）

168

外形尺寸（mm）

600（左右手轮距离）*825（前面板到后电控箱）*845（花岗石基座底部到保护链顶部）

Z轴行程（mm）

120

微3D量测高度（解析度）

1.5mm（0.01um）

微3D高度重复

0.1um

XYZ轴光学尺解析度

0.001mm（1um）

X / Y坐标示值误差

≤（3+L/75）μm    （L为测量长度，单位mm）

2D影像量测软件

QMS3D-M 

3D影像量测 / 分析软件

MIcroScan3D / PostTopo

影像系统

高速单色CCD摄像机         像素：640*480

显微镜系统

三目头                 目镜：10倍         5孔物镜转换镜

滤光片红、蓝、绿、白                   测量模式    反射、透射、偏光

照明系统

透射照明光源

白光 / 绿光LED，亮度可调

同轴照明光源

白光LED，亮度可调

物镜

倍率

5X

10X

20X

50X

工作距离（mm）

26.1

20.2

8.8

3.68

高度量测模块（选配件）    

光干涉高度量测模块（M10-CA），高度量测分辨力0.5μm（选配）

倍率：10X             

工作距离：5mm

光学分辨力：2μm