电涡流感测器直接观测机器转子或目标靶面的各种振动、位置、转速和定时（即相位）测量值。电涡流探头具有多种探头端部直径和螺纹规格/配置，其测量范围可以小至200微英寸（用于REBAM?测量），大至1.1英寸（通常用于大型汽轮机胀差测量）；大多数机械设备上常见的量程80 mil（千分之一寸）的电涡流探头也属于此范畴。