,BURKERT传感器产品代码
响应时间极短，只有几百毫秒。此外，该传感器的结构确保其不易受污染物的影响。
的 MFC 具有100 ms 的响应时间，且灵敏度高，即使流量很小时也是如此。
一个恒定的温差。这两个电阻都直接位于气体通道内；另外三个电阻位于气体通道之外。这
电阻连接成一个测量电桥。气体通道中的一个电阻 (RT) 测量介质温度，另一个低阻值电阻
不断被加热，使其与介质温度（由 RT 测得）之间始终保持一个恒定的温差。所需的加热电
用于测量流过该气体通道的气体流量。MFC 中合适的流量调节确保其所测得的质量流量非常
Response time is very short, only a few hundred milliseconds. Further, the .
。由于加热电阻和测量电阻都直接位于气体通道内，所以当设定值或实际值变化时，该传感
管道中的层流元件产生一个必需的压差，使小部分流量进入旁路管道。旁路管道内壁上装有带膜
structure of the sensor to ensure that its less susceptible to contamination
的硅芯片，用于测量流量。采用 CMOS 传感器技术，在这块膜上有一个加热电阻和两个对称的
温度传感器（分别位于上游和下游）。如使加热电阻保持在一个恒定温度，则两个温度传感器的
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