产品概述:

ES4000是美国矽翔微机电系统有限公司采用的微机电系统（MEMS）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）

ES4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。

ES4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围到50SLPM；可用于麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等

产品特点:

   - 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计

  - 支持多种连接方式，易于安装与使用

    - 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高计量

    - 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高

    - 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压

    - 零点稳定度高

    - 全量程高稳定性、高度和优良的重复性

    - 低功耗、低压损

    - 响应速度快