的Precis? 200是基于Micro-Metric的Innova晶圆量测系统开发而来，采用了VMM 公司的设计和技术。
, 新款Precis 包含了很多可配置选项，使设备更加通用，耐用以及。

• 扩展了Z轴范围 – 2.5mm, 5mm or 100mm

• 照明 

• 完整电子绘图 – 合 SEMI S2 和 CE 标准

• 合人体工程学的操作员控制台 ，带有隐藏键盘托盘, 可调节高度和角度的控制面板和显示器, SEMI S8 合

• 全自动显微镜，设置计算机控制

• 分辨率像素摄像头

• VIEW Metrology Software (VMS?) 可测组件很广泛, 可选CAD导入 以及完整的几何尺寸和公差导入。

• MMWin – 晶圆片 和Mask计量软件 –晶圆片的重要尺寸和迭置重合测量, 滑块 ABS,光掩模和平板显示器.

• 
  

•                                       标准                        可选

•   X,Y,Z行程(mm):        200 x 200 x 5              200 x 200 x 100 

•   载重:                 12 kg

•   XY:                    E1=(0.25+2L/1000)um

•   Z :                     E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)

•   分辨率：                    0.01 微米

•   视场测量和重复性：0.01 μm (100x)

•   直流伺服马达驱动
  
  
  

主要用于以下应用：
- 亚微米测量：
   ◆   微器件和电子元器件封装、引线框
   ◆   微型球状引脚栅格阵列封装
   ◆   硬盘驱动臂、探针卡、刀片
- CD 和套刻测量：
   ◆  线宽、涂覆层
   ◆   MEMS 器件、接触窗、喷墨打印头
   ◆   硬盘驱动头、磁头等