纳米级精密定位台(微位移平台 可定制构型)
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地区:江苏省 苏州市
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产品属性
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主要产品系列:一维直驱式、一维放大式、一维Z向式、一维小体积式、一维中空式、一维L式物镜台、一维U式物镜台、二维集成式、二维模块式、三维集成式、三维模块式、三维并联式、六维并联式。
纳米级精密定位工作台以压电陶瓷致动器为驱动元件,通过柔性铰链机构进行无间隙的微位移传动,运动范围在几十微米到几百微米,运动分辨率和重复定位在纳米级。主要应用于精密进给系统、精密位移补偿、精微操作、MEMS技术、生物工程、细胞操作、微刻蚀、扫描隧道显微镜、光学调整、电化学加工等领域。
主要特点:
采用压电陶瓷驱动;
纳米级位移分辨率;
重复定位高;
优良的频率响应特性;
采用计算机有限元仿真分析等现代设计动结构;
可内置电阻应变片式微位移传感器,方便实现闭环控制;
机体材料可选择铝合金、Invar合金等,适用于不同的应用场合;
采用电火花、线切割等加工工艺,以严格保证加工;
采用先进的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力;
运动自由度从一维到六维,行程10~400微米,形成多系列产品。