热式气体质量流量计_MF610热式气体质量流量计

　　热式气体质量流量计是利用热扩散原理测量气体流量的仪表。传感器由两个基准级热电阻(RTD)组成。一个是速度传感器RH，一个是测量气体温度变化的温度传感器RMG。当这两个RTD置于被测气体中时，其中传感器RH被加热，另一个传感器RMG用于感应被测气体温度。随着气体流速的增加，气流带走更多热量，传感器RH的温度下降。(参考）

　　热式气体质量流量计 产品特性

　　容易安装及维护

　　支持多种通讯协议

　　高、高稳定性、极低的零漂

　　可测气体种类多

　　带流量累积量输出

　　含一路可编程流量报警输出端口

　　可用于气密测试设备

　　热式气体质量流量计 技术指标

　　流量规格：0~5,10,50,100,300,600,1000sccm(mL/min)

　　显示：0.1sccm(mL/min)

　　准 确 度：±0.05％F.S.

　　线 性 度：±0.1％F.S.

　　重复：±0.05％F.S.

　　工作压差：0~1MPa

　　耐压：1MPa

　　环境温度：0~65℃

　　电气连接：DB9

　　输出信号：LCD、RS232、RS485、CAN（数字协议带电气隔离）

　　电        源：15~40VDC

　　标准气路接头：M8*1卡套接头、4mm快拧、6mm快拧

　　气路管径：3~3.2mm、4mm、6mm（外径）

　　可测量气体种类：Air、He、Ar、N2、O2、H2、NO、CO、CH4、NH3、N2O、NO2、CO2

　　热式气体质量流量计 机械尺寸

　　热式气体质量流量计_MF610热式气体质量流量计