JZ-100型智能匀胶机

智能匀胶机主要适用于半导体硅片、晶片、ITO导电玻璃、光学玻璃等工艺制版及表面涂覆，各种光刻胶表面膜制备。

系统配置高速变频马达，变频控制涂胶转速、时间，使整个涂胶过程，稳定。

主 要 技 术 指 标

u 系统支持10个工艺组存储，每个工艺组可设置4段运行速度及运行时间

u 匀胶速度：  0～8000rmp可调

u 匀胶时间：  1～9999s任意时间可设置

u 旋转加速度：0～12000rpm/sec   由低速到高速加速时间0.1s～0.5s

u 转速稳定度：±1rmp

u 涂胶均匀性：±3%

u 可镀膜尺寸：Ф5～Ф150mm（6〞）

u 基片厚度：  ≤5mm

其 它 配 置

设备配置Ф260mm接胶装置（不锈钢材质）

电机额定功率90W，额定转速8000rmp

真空系统：FY-1C真空泵一台，抽气速率60L/min(标配)

  AP-500V无油真空泵，抽气速率100L/min（选配）

样片托：随机配1英寸一个，2英寸一个，其它规格尺寸按要求定做。

输入电源： AC220V/240V  50HZ

机身尺寸： 280×360×240mm

机身重量：10Kg