Phasics横向剪切波前分析仪
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地区:上海市
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产品信息                                        

Phasics横向剪切波前分析仪

所属类别: ? 光学/激光测量设备 ? 波前分析仪
            所属品牌:法国Phasics公司

                                                                         产品简介

基于四波横向剪切干涉技术的波前传感器,具有高分辨率、消色差、高灵敏度、高动态范围、操作简便等特点。


关键词:波前探测器,波前分析仪,波前传感器,wave front sensor,波前测试,激光光束分析,镜片面型分析,Phasics,法国Phasics公司,Shack-Hartmann,沙克哈特曼分析仪,哈特曼分析仪


Phasics波前分析仪

法 国Phasics公司自主研发的波前传感器是基于四波横向剪切干涉技术(4- Wave Lateral Shearing Interferometry) ,较传统的Shack-Hartmann技术具有独特的优势,具有高分辨 率、消色差、高灵敏度、高动态范围、操作简便等特点,为波前测量与光束分析提供了全新的解决方案!其配套软件界面友好,可输出高分辨率相位图与光束强度分 布图 。 

Phasics雄厚的技术实力,能为客户提供各种自适应光学系统OASys(adaptive optics loops)的解决方案。根据客户需求,推荐使用合适的SID4波前传感器、可变形镜或液晶相位调制器、自适应光学系统软件等。

Phasics 公司的所有产品都是建立于其波前测量技术之上,即四波横向剪切干涉技术(4- Wave Lateral Shearing Interferometry)。在改进型哈特曼掩模的基础之上,这种独特技术将超高分辨率和超大动态范围 完美结合在了一起。任何应用下,其都能实现全面、简便、快速的测量。

 

型号

SID4

SID4-HR

SID4 UV-HR

SID4 NIR

SID4 DWIR

SID4-SWIR 

孔径

3.6 x4.8mm2 

8.9 x11.8mm2

8.0 x8.0mm2

3.6x4.8mm2

13.44x10.08mm2 

9.6x7.68mm2 

空间分辨率

29.6μm 

29.6μm 

32μm 

29.6μm 

140μm 

120μm 

测量点数

160x120

300x400

250x250

160x120

96x72 

80X64 

波长范围

350-1100nm

350-1100nm 

190-400nm 

1.5-1.6μm 

3-5μm和8-14μm 

0.9- 1.7μm 

准确度

10nm RMS  

10nm RMS  

10nm RMS 

>15nm RMS

75nm RMS 

10nm RMS 

动态范围

>100μm 

>500μm 

>200um

>100μm 

~100μm 

 采集速度 

 60 fps 

 10 fps 

30 fps

60 fps

50 fps

25/30/50/60fps 

 处理速度 

>10fps 

>3 fps  

1fps 

<10fps 

20 Hz 

>10Hz 

 


SID4: 一款紧凑型的波前传感器

SID4波前传感器体积小巧,结合了传统的剪切干涉的优势,安装使用简单。我们的优势在于四波横向剪切干涉技术(基于改善后的哈特曼衍射遮挡板)。SID4是测量光束特性的必要工具,在光学测量方面有着许多应用。

波长范围:350-1100nm

分辨率高(160x120

消色差

测量稳定性高

对震动不敏感

操作简单,Firewire IEEE 1394

结构紧凑,体积小

可用笔记本电脑控制

 

 

SID4 HR:高分辨率波前传感器

SID4-高分辨率波前传感器可应用于光学测量领域。其可实现300x400个测量点的相位图,保证了高测量,可用于对各种光学器件的测量,如透镜,物镜,球面镜,微透镜特征测量等。

波长范围:350-1100nm

高性能的相机,信噪比高

实时测量,立即给出整个物体表面的信息(120000个测量点)

曝光时间极短,保证动态物体测量

操作简单

 

 

SID4 UV-HR: 高分辨紫外波前传感器

PHASICS公司将 SID4的波前测量波长范围扩展到190nm-400nmSID4 UV-HR是一款适用于紫外波段的高分辨率波前传感器,非常适用于光学元件测量(例如印刷、半导体等等)和表面检测(半导体晶片检测…)。

高分辨率(250x250

通光孔径大(8.0mmx8.0mm

覆盖紫外光谱

灵敏度高(0.5um

优化信噪比

 

 

SID4 NIR: 高分辨率红外波前传感器

SID4 NIR是一款覆盖近红外范围(1.5μm-1.6μm)的高分辨率波前传感器。

可用于光学测量,SID4 NIR是测量红外物体和红外透镜像差、PSFMTF和焦距及表面质量的理想工具。

高分辨率(160x120

测量

快速测量

对振动不敏感

性价比高

 

 

SID4 DWIR: 高分辨、双波段红外波前传感器 

PHASICS推出了业界款高分辨率双波段红外波前传感器(from 3 μm to 5 μm and from 8 μm to 14 μm)SID4 DWIR

光学测量:SID4 DWIR是测量红外物体特性(热成像和安全视觉)或红外透镜(CO2激光器)的理想工具,输出结果包括MTFPSF,像差,表面质量和透镜焦距。

光束测量:(CO2激光器,红外OPO激光光源等等)SID4 DWIR提供详尽的光束特性参数:像差,M2,光强分布,光束特性等

高分辨率(96x72

可实现测量

可覆盖中红外和远红外波段

大数值孔径测量,无需额外中转透镜

快速测量

对振动不敏感

可实现离轴测量

性价比高

 

 

 

SID4软件介绍

 

 

与SID4 波前传感器配套提供的是一款完整的分析软件,其集成了高分辨率的相位图与强度分布图,测量光强分布和波前信息。借助Labview和C++ 可编程模块数据库(软件二次开发工具包),客户能够根据自身的需要编写各种相位测量与编译模块。

 

adaptive optics loops 将SID4 wavefront sensor结合您的应用,选配合适的可变形镜或相位调制器,提供整套的自适应光学系统。减小任何一个光学系统的相差从 来都不是简单的,我们的产品能为激光光束和成像系统带来更可靠,高的解决方案。

 

传统的测量结果与Phasics的测量结果对比:

 

 


光学测量软件Kaleo

Phasics基于剪切干涉的波前传感器与专门设计的光学测量软件Kaleo结合,可以测量球面镜和非球面镜的像差及MTF等信息。只需要几秒钟,我们的仪器为您呈现绝大部分的光学参数,如焦距,光腰,MTF,像差,Zernike系数,曲率半径,PSF等。

 

 

夏克-哈特曼探测器和PHASICS探测器比较 

 


PHASICS 

Shack-Hartmann

区别 

技术 

四波横向剪切干涉 

夏克-哈特曼 

是对夏克-哈特曼技术的改进,投放市场时,已经申请技术。 

重建方式 

傅里叶变换 

分区方法(直接数值积分)或模式法(多项式拟合) 

SH:夏克-哈特曼波前探测器,局域导数以微透镜单元区域的平均值来近似。对于大孔径的透镜单元,可能会增加信号误差,并且,在某些情况下,产生严重影响。 在分区方法中,边界条件很重要。

强度 

由于采用傅里叶变换方法,测量对强度变化不敏感 

由于需要测量焦点位置,测量对强度变化灵敏 

Phasics:测量,波前测量不依赖于强度水平 

使用、对准方便 

界面直观,利用针孔进行对准 

安装困难,需要精密的调节台 

Phasics: 产品使用方便 

取样(测量点) 

SID4-HR达300X400测量点 

128X128测量点(多个微透镜) 

Phasics:具有很高的分辨率,这使得测量更可靠,也更稳定 

数值孔径 

SID4 HR  NA:0.5 

NA:0.1 

Phasics:动态范围更高 

空间分辨率 

29.6μm 

115μm 

Phasics:具有更好的空间分辨率 

重复性(rms) 

2nm RMS 

λ/200( 5nm @1053 nm) 

Phasics:更好的重复率,更稳定 

获取频率 

10fps 

7.5fps 

Phasics:分析速度快 

处理频率 

>3Hz(全分辨率) 

5Hz 


照度 

phasics的技术可以消色差。系统对不同波长和带宽响应一致。无需对每个波长进行校准。 

夏克-哈特曼技术基于微透镜,其特性依赖于波长(由于玻璃色散)。仪器需要在每个波长处校正。 

PHASICS更灵活:可以测试宽波段,而不需要校准。 

 



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