流量范围(N2)

  3SCCM~30SLPM

  3SCCM ~ 30slpm

  响应时间

  <3 sec

  <2 sec

精准度

  ≤±1% FS

  ≤±1% FS

  重复

  ±0.25% FS

  ±0.25% FS

  输入/输出信号

0~5 Vdc OR 4~20 mA

  0~5 Vdc OR 4~20 mA

供电电源

  +15 Vdc

  +15 Vdc

 耐压

 1500psi

 1500psi

压差范围

5~50psi

漏率

  1*10E-9 atm cc/sec

  1*10E-9 atm cc/sec

工作环境温度

  0~50 °C

  0~50 °C

使用范围

  2 ~ 100%

  2~ 100%

接口形式

卡套、VCR

卡套、VCR