一、STACIS 2100用户及应用领域

l 微电子、半导体

-晶片检测

-显微光刻技术

-掩膜校准

l 科学研究、纳米技术

-SEM, TEM

-STEM, SPM

l 激光台

-生命科学、药物研发

l 工业应用

-精密加工

二、为什么要选择主动系统？

l 从<1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振

l 提高吞吐量、质量、生产量

l 更加细小特色的成像能力

l 研究前沿

l 比气动平台更稳定

l 满足SEM标准地点安装参数的解决方案

l 使得新实验室及研究设备的工程造价更低

三、为何选择主动系统, 为何选择STACIS?

l 正中研究者、科学家、设计者、的心声棗?#25105;需要尽可能的无震环境！?/SPAN>

l 市场上强劲的低频隔振系统。

l 目前，所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统

l STACIS首次发明于 mid 1990s, 经TMC进一步发展，开发了数以千计的安装系统，这是隔振控制领域的提供的可靠技术. 

四、STACIS特色与优势

l 宽的主动隔振带宽，的低频隔振效果

l 亚赫兹的主动震动消除，主要在0.6-6Hz频段内的隔振

l 的可堆叠式设计

l 主动硬式安装结构，而非软式悬浮，无低频漂移：主动元件与刚性弹簧相连

l 被动弹簧滤除了来自Stacis传感器的负载谐振，需要的调谐非常少，甚至无需调谐

l 由于阻抗不匹配，可兼容仪器内部隔离器

l 大负载，可达 2000kg

l 市场是先进的隔振系统

五、STACIS相比气动隔离器刚性大400倍 ?/FONT>

稳定时间作为对扰动的响应，由于独特的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。

六、如下优势在业内都是无与伦比的

l  STACIS的主动隔振带宽为 0.6Hz - 150Hz

l  6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB 

l  从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB) 

七、的环境调查

安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波

安装后可提供环境系统体系

l 完善的环境调查服务

l 开具环境

l 提供震动、磁场、声波检测及解决方案

l 性覆盖。有求必应，博学多才

l TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案 

l 40多年的行业经验，业内的