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技术参数：

X1轴

测量范围：200mm

分辨率：0.00625μm

检测方法：激光全息光栅尺

驱动速度：40mm/s（CNC模式）  0-40mm/s（操纵杆控制模式）

测量速度：0.02-0.2mm/s(表面粗糙度)

0.02-2mm/s（形状/轮廓）

测量方向：向前/向后

直线度： （0.1+0.0015L）μm 使用标准测针

         （0.2+0.0015L）μm 使用二倍长型测针

指示（20℃）：±（0.3+0.002L）μm 

指示（20℃）：±（0.16+0.001L）μm  L为驱动长度（mm）            

Z1轴：

测量范围： 12mm(使用标准测针)   24mm(使用二倍长型测针)

分辨率：0.004μm（使用标准测针）  0.008μm（使用二倍长型测针）  0.001μm（使用标准测针）

(CS-H5000CNC)    0.002μm（使用二倍长型测针）  (CS-H5000CNC)

测针上/下运作：弧形运动

检测方法：激光全息光栅尺