仪器用途：主要用于半导体硅晶片检测、LCD液晶屏检测、实验室材料分析及其他精密工程检测领域，可对样品进行明场、暗场、偏光以及微分干涉观察。光源可选卤素灯、光纤照明，可以配电动物镜转盘、成像系统，可以对应多种需求的系统显微镜。

仪器主体参数：
仪器型号：YVM-10080CNC
测量范围：1000*800*200mm
测量(X.Y)：3+L/1000
测量(Z):3+L/300
重复：≤2um