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高分辨正入射真空光谱仪
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225--高分辨正入射真空光谱仪

主要特点：

>15度正入射光路结构

>小像差及偏振

>通量密度

>凹面自聚焦光栅，尤其适合CCD、MCP等阵列探测器

>洁净不锈钢结构，高真空度

>分辨率可达0.005nm

>如需更高分辨率另有2m、3m、5m、6.6m焦距可选


主要技术参数

波长范围

<30nm-300nm*

光学结构

正入射

真空度支持

10-6Torr,或10－10Torr

焦距长度

1 m

分辨率，半高宽

0.01nm*

色散

0.83nm每毫米*

校准

0.1nm*

重复性

0.005nm*

步距

0.0002nm*

焦平面尺寸

25mm

数值孔径

f/10.4

光栅尺寸

56*96mm

充氮气

可选

可选探测器

CCD、MCP或单点探测器

狭缝

10um-2mm连续可调，高度2-20mm可调，手动或电动可选

*以上参数均为1200g/mm光栅参数

不同光栅主要参数

光栅密度（g/mm）

3600

2400

1800

1200

600

300

150

75

分辨率**

0.005

0.008

0.01

0.015

0.03

0.06

0.12

0.24

色散（nm/mm）

0.28

0.42

0.56

0.83

1.66

3.32

6.6

13.3

波长范围30nm至

100nm

150nm

200nm

300nm

600nm

1.2um

2.4um

4.8um

**分辨率测试条件：10um狭缝宽度，2mm狭缝宽度，313.1nm

其他可选焦距正入射谱仪

焦距长度（m）

2

3

5

波长覆盖范围

300nm

300nm

300nm

分辨率（nm）@313.1nm

0.007

0.005

0.003

色散（nm/mm）

0.42

0.28

0.17

*以上参数均为1200g/mm光栅参数