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高通量真空光谱仪
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东方闪光（北京）光电科技有限公司

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207V--高通量真空光谱仪

主要特点：

>波长覆盖范围：105nm至长波红外（取决于光栅）

>支持光栅尺寸120mm*140mm，大光通量

>高品质母版光栅，保证光学性能

>O圈密封真空度可达10-6 torr

>可选超高真空，金属密封真空度可达10-10 torr

>的Snap-In 光栅，更换光栅简单无需校准

>成像光路设计及50mm大尺寸焦平面

>洁净的不锈钢结构

>如需更高分辨率另有1m、1.33m、2m焦距可选


主要技术参数

波长范围

<105nm-1300nm*

光学结构

对称C-T结构

真空度支持

10-6Torr,或10－10Torr

焦距长度

667mm

分辨率，半高宽

0.03nm*

色散

1.24nm每毫米*

校准

0.05nm*

重复性

0.005nm*

步距

0.0002nm*

焦平面尺寸

50mm

数值孔径

f/4.7(或f/5.8)

光栅尺寸

120*140mm(或110*110mm)

杂散光抑制比

10-5

充氮气

可选

可选探测器

CCD、MCP或单点探测器

狭缝

10um-3mm连续可调，高度2-20mm可调，手动或电动可选

*以上参数均为1200g/mm光栅参数

不同光栅主要参数

光栅密度（g/mm）

3600

2400

1800

1200

600

300

150

75

分辨率**

0.013

0.016

0.02

0.03

0.06

0.12

0.24

0.48

色散（nm/mm）

0.41

0.62

0.83

1.24

2.48

4.96

9.9

19.8

波长范围105nm至

430nm

650nm

860nm

1.3um

2.6um

5.2um

10.4um

20.8um

**分辨率测试条件：10um狭缝宽度，2mm狭缝宽度，313.1nm

其他可选焦距高通量谱仪

型号

2061V

209V

2062V

焦距长度（m）

1

1.33

2

波长覆盖范围

300nm

300nm

300nm

分辨率（nm）@313.1nm

0.007

0.005

0.003

色散（nm/mm）

0.42

0.28

0.17

*以上参数均为1200g/mm光栅参数