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1专为高精密检测,光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计2无刷无槽伺服电机直接驱动3突出的速度稳定性(电机无接头效应)4卓越的运动性能,误差小,无抖动5直联高旋转编码器6扁平结构设计7无机械接触台面直径128.1-278.1mm分辨率0.18-0.036arcsec双向重复定位<1arcsec
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