ABL3600气浮平台

1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计
2双轴,大孔,开放式结构
3非接触直线编码器反馈,高
4双直线电机驱动XY轴
5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程≤250mm
±1um
重复定位±0.20um
直线度±0.50um
平面度±1um