ABL8000气浮平台

1专为有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用设计
2十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性极好
3所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4行程达1米
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6可集成包括花岗岩的XY子系统
行程≤1000mm
±0.50um
重复定位±0.20um
直线度±0.40um
平面度±0.40um