Aerotech ABL9000
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图文详情
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产品属性
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ABL9000气浮平台
1世上性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3行程达1.2米X1.2米
4Y轴双直线电机驱动
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6主动控制偏转
行程≤1200mm
±0.50um
重复定位±0.10um
直线度±0.50um
平面度±0.50u
1世上性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3行程达1.2米X1.2米
4Y轴双直线电机驱动
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6主动控制偏转
行程≤1200mm
±0.50um
重复定位±0.10um
直线度±0.50um
平面度±0.50u