产品简介

   HS-T50无接触厚度TTV电阻率综合测试系统是一款广泛应用于太阳能电池片制造过程中对表面厚度TTV电阻率无损测量的仪器。该仪器适用于Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有的材料，所有的设计都符合ASTM(美国材料实验协会)和Semi标准，确保与其他工艺仪器的兼容与统一。

产品特点

■ 无接触无损伤测量

■ 适用的晶圆材料包括Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有的材料

■ 抗干扰强，稳定性好                                       

■ 强大的工控机控制和大屏幕显示

■ 一体化设计操作更方便，系统稳定

■ 为晶圆硅片关键生产工艺提供的无接触测量

 技术指标

■ 测试尺寸：50mm- 300mm.

■ 厚度测试范围：1000 um，可扩展到1700 um.

■ 测试：+/-0.25um

■ 电阻率测试范围：0.1-50 ohm.cm

■ 测量：2%

■ 晶圆硅片类型：单晶或多晶硅