智能控制：采用高性能进口PLC及触摸屏控制，中英文操作页面可选择，多级保护功能，参数设置灵活。

结构特点：采用气动背起式开盖方式。开盖度：45度，设有上、下位置开关，保证灵敏可靠。

高效节能：独特的油路设计，特殊制造工艺，加热板平整度±0.2mm满足超薄硅片的封装要求。

操作控制方式：采用触摸屏与PLC组成控制系统，控制灵敏可靠。

温控方式：西门子温度采集模块（RTD）多点温度监测采样进行PID整定调节控制固态输出，温控高、安全可靠。