一、技术参数 行程范围：X轴------800 mm          Y轴------1000 mm             Z轴------600 mm 结构型式：活动桥式 传动方式：柔性齿同步带+预载荷高空气轴承 长度测量系统：开放式光栅尺，分辨率为0.5 μm 机台：高花岗岩平台   使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m           温度变化 1℃/h 空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa 空气流量：100 L/min – 120 L/min   整机尺寸：2.0m X 1.5 m X 2.7 m 机台承重：1000 kg 整机重量：2000kg   探针测量系统： 1．控制软件：SEREIN DMIS V2.0 2．操作方式：计算机自动控制＋微电脑操纵盒 3．测量不确定度（E）：（3.0+L/300） 二、机械特点 1．  整机设计采用单边活动桥式结构，该结构紧凑，大幅降低了活动框架的重量，显著提高了系统的运动性能，确保了测量及稳定性。 2．  三轴导轨均采用高精密天然花岗岩，使三轴具有相同的温度特性，保证测量过程中良好的温度稳定性及刚性。 3．  三轴导轨均采用自洁式预载荷高空气轴承，使运动更平稳，导轨永不受磨损。 4．  长度测量系统采用英国 RENISHAW 的自粘开放式金属光栅尺，使光栅尺与花岗岩基体的热膨胀系数接近，从而提高设备的稳定性。 5．  控制系统采用英国 RENISHAW 的 UCCLITE 高速高自动控制系统，该系统内嵌32位微处理器，真正实现实时控制。