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供应FS气体流量传感器
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 FS4000系列质量传感器
 

产品概述:

FS4000是美国矽翔微机电系统有限公司采用的微机电系统（MEMS）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等） FS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。 FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围到50SLPM；可用于洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等 产品特点:    - 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计   - 支持多种连接方式，易于安装与使用     - 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高计量     - 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高     - 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压     - 零点稳定度高     - 全量程高稳定性、高度和优良的重复性     - 低功耗、低压损     - 响应速度快 
 机械尺寸: 产品特点:
性能参数 FS4003 FS4008 单位
通 径 3 8 mm
流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM
量程比 ≥100:1
精 度 ±(1.5+0.2FS) %
重复性 0.25 %
零点输出飘移 ±30 mV
输出飘移 ±0.12 %/℃
响应时间 10（默认，50，100，200，500，1000可设置） msec
工作电源 8~18Vdc,50mA  
输出方式 线性，RS232/RS485,模拟电压0.5~4.5Vdc  
流量压损 100 600 Pa
工作压力 0.5 MPa
工作温度 -10 ~ + 55 ℃
存储温度 -20 ~ + 65 ℃
工作湿度 <95%RH（无结冰、无凝露）  
机械接口 BSPT1/4（R1/4）,4mm/6mm/8mm快速接头
校准方式 空气（或其他气体），20℃，101.325kPa
重量 57（带R1/4,BSPT1/4接口）
71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头)		 g
输出方式为传感器的标准输出方式，用户可根据不同需求选择RS232或RS485输出。