1） 特性

²       测量模式分手动和自动模式，用户可以自由选择

²       简单的按键操作，任何人都可以快速正确测量出结果

²       测量分手动、自动和连续自动，用户可任意选择

²       在自动模式中如果探针接触测量样片表面，测量结果就会在窗中显示

²       电阻率测量时，只要输入校正系数（如厚度、探针间距、样本大小）就会自动计算，进行测量。

²       可根据用户要求定制(测量范围、测量时间、探针张力、探针半径、探针间距等)

²       可根据用户选择采用单和双配置作为测量模式测量。采用双配置测量均质样品时，如果样品的大小是探针间距的5倍以上的话，具有与测量位置无关，任何位置都可以测量出相同值的优点。

²       测量直径为300mm以下的样品时，在用户要求的所有位置都可以测量

²       操作台可上下、水平、旋转移动不需移动样品，任何位置都可以测量。

2） 规格

²       测量方式：单&双配置法

²       测量范围：4mΩ/sq.~1GΩ/sq.

²       测量分辨率：4½digits

²       测量准确性：0.5%以下（在23℃）

²       针间距：1.00mm，1.59mm

²       针半径：50μm~500μm（可根据所测量样品选择）

²       测量时间：1秒

²       电流：10nA~100mA

3） 应用

这种类型作为研究和开发用的仪器，可以测量电阻，面电阻和电阻率，并且具有极好精密性，重复性，可靠性。