产品介绍    白光干涉仪SIS系列采用增加相位扫描干涉技术，是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,，为韩国SAMSUNG指定供应商，LPL友好俱乐部成员，清华大学，台湾大学，首尔大学友好合作伙伴。 产品特点 1、非接触式测量：避免物件受损。
2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪：采用闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。
技术参数 　

机型		SIS 2000
工作台	尺寸	350mm×350mm
	倾斜度	±3 °
测量行程		X:200mm   Y:200mm
Z轴行程		100mm
运动方式		自动，马达驱动
扫描速度		30μm/sec
垂直分辨率		0.1nm
CCD		黑白CCD， 640×480 像素
物镜安装架		手动 5个位移的可定位夹具
镜头选配		镜头：5×、10×、20×、50×

应用领域 1、TFT产业
2、半导体
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工 附件 水准测量器、旋转台、CCD、镜头、LED光源、扫描控制盒、PZT传感器、光源控制器等