移動方向 Z軸1方向
移動量 ±20mm
ステージ面 60mm×60mm
使用モータ PK545相当　電磁ブレーキ付（5線式ペンタゴン結線、0.75A/相）
分解能 0.002mm
送りねじリード 1mm
移動ガイド ボールブッシュ
移動HV 真直度（水平?垂直）0.015mm
位置決め 0.03mm
繰り返し ±0.003mm
ロストモーション 0.01mm
耐荷重 29.4N（3kgf）
質量 1.6kg
速度 10mm/s（5,000pps時）
主要材質/表面処理 アルミ合金／白アルマイト梨地
原点センサ ノーマルオープン接点（メイク接点、Ａ接点）動作、フォトセンサ
原点前センサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
適合ケーブル ACB-STD2、ACB-STD3