VEGA 3 EasyProbe是值得信赖的一款SEM/EDS一体机。
SEM技术参数： 1.分辨率:高真空(SE)3.0nm at 30kv，8.0nm at 3kv
2.放大倍数:4.5 to×
3.真空系统:高真空<9*10 -3Pa，
4.加速电压0.2kV to 30Kv
5.电子束电流1pA—20uA
6.样品室内部直径：160mm
7.样品台行程:
3轴马达控制
X=45mm——马达控制
Y=45mm——马达控制
Z=27mm——手动控制
Z'=6mm——手动控制
R=360°连续马达控制
T=-90°至 90°手动
样品高度36mm. EDS技术参数：
分辨率： 133eV(Mn Kα) at 100,000cps
探头类型： XFlash TM Detector 410 M, 有效面积 10mm2
探头窗口： SLEW，探测元素从B(5)到Am(95)
探头冷却： Peltier couple (无需液氮)
输入计数率： 150kcps
定量： 无标样 PB-ZAF
主要特点： VEGA 3 EasySEM可以触摸屏进行控制和操作，具有所有图像操作和处理功能以及一键式EDX分析工具栏。 当一键式EDX工具被激活时，系统显示实时SEM图片上选定区域的定量分析结果。
系统根据用户的技能水平可分为3个等级对电镜进行控制。电镜的所有功能都由触摸屏或键盘，鼠标和轨迹球或者选配的控制台通过Window?平台上的VegaTC软件控制。