移動方向 XY軸2方向
移動量 ±25mm
ステージ面 125mm×160mm
使用モータ PK545NBW相当（5線式ペンタゴン結線、0.75A/相）
分解能 0.002mm
送りねじリード 1mm
移動ガイド V溝とクロスローラ
移動HV 真直度（水平?垂直）0.0008mm
位置決め 0.003mm
繰り返し ±0.0005mm
ロストモーション 0.0005mm
XY直交度 0.008mm
モーメント剛性 ヨー剛性　0.1sec/N?cm、ピッチ剛性　0.08sec/N?cm、ロール剛性　0.08sec/N?cm
耐荷重 314N（32kgf）
質量 16.4kg
速度 16mm/s（8,000pps時）
主要材質/表面処理 鋼材／カニゼンメッキ（テーブル）、塗装（ベース）
原点センサ ノーマルオープン接点（メイク接点、Ａ接点）動作、フォトセンサ
原点前センサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
適合ケーブル ACB-STD2、ACB-STD3