移動方向 Z軸1方向
移動量 ±15mm
ステージ面 90mm×100mm
使用モータ PK545相当　電磁ブレーキ付（5線式ペンタゴン結線、0.75A/相）
分解能 0.002mm
送りねじリード 1mm
移動ガイド V溝とクロスローラ
移動HV 真直度（水平?垂直）0.0007mm
移動YP ヨーイング?ピッチング4sec
位置決め 0.002mm
繰り返し ±0.0005mm
ロストモーション 0.0005mm
モーメント剛性 ヨー剛性　0.1sec/N?cm、ピッチ剛性　0.15sec/N?cm、ロール剛性　0.1sec/N?cm
耐荷重 98N（10kgf）
質量 5.5kg
速度 10mm/s（5,000pps時）
主要材質/表面処理 鋼材／カニゼンメッキ（テーブル）、塗装（ベース、ブラケット）
原点センサ ノーマルオープン接点（メイク接点、Ａ接点）動作、フォトセンサ
原点前センサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
適合ケーブル ACB-STD2、ACB-STD3