工
作
台

金属台尺寸(mm)

1000*800mm

玻璃台尺寸(mm)

920*650mm

运动行程(mm)

800*600mm   Z轴升降:150mm(调焦)

电机 三轴运动速度 100mm/s 三维定位 0.001mm

测量与瞄准系统(标准配备)

摄影机：索尼忒1/3"彩色CCD摄影机                           

全自动双焦物镜倍率：0.7~4.5X         工作距离：92mm

视频总倍率：30~190X            物方视场：10.6~1.6mm

 X.Y坐标示值误差≤(3+L/75)μm

X.Y.Z光栅尺解析度：0.0005mm

仪器重量

500kg

◆ 照明：表面光源与透射光源均用LED，亮度可调 电源：AC220V/AC110V，50QC，≤100W