AWM2000 系列小流量 / 无放大气体流量传感器
特点：
● 双向气流传感
● 实际气体质量流量传感
● 流速0~30sccm 到0~1000sccm
● 需另加发热器控制及传感桥路供电电路

AWM2100V技术规格：10.0 ± 0.01VDC
● 流量范围(刻度)：±200sccm
● 输出电压：30mV
● @标定点：@100sccm
● 零点漂移,type：+25 ~ -25˚C +25 ~ +85˚C ±0.2mV
● 输出电压漂移：+25～-25˚C +2.5% 读数； +25 ~ +85˚C -2.5% 读数
● 重复性&迟滞 Max：±0.35% 读数
● 电源（VDC）（1）：Min8.0 10± Typ0.01 Max15
● 功耗（mW）：30  50
● 零点电压（mV）：-1.0
● 反应时间（ms）：1.0
● 传感器电阻(KΩ)（1-2 脚, 1-6 脚）：5
● 工作温度：-25-85˚C
● 储存温度：-40-90˚C
● 冲击(5drops,6axis)：100g 峰值