FS4000系列是美国硅翔微机电系统有限公司采用的微机电系统（MEMS）流量传感技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，压损低。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环保监测仪器，如空气采样和分析仪器9GC频谱仪）
　　
　　FS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低，压损小，测量范围到5SLMP，适用于粒子计数器和分析仪器等。
　　
　　FS4008流量传感器，测量范围到50SLPM.可用于气流测量和控制设备。应用于麻醉设备、洁净气体监控，如：空气采样机，气体分析仪等。
　　
　　产品特点：
　　-专为管径为3mm-8mm的固定气道中的低压气体流量测量而设计
　　-卡口式设计为多管路集成测量而设计
　　-快速地响应时间利于精密测量应用
　　-在麻醉机上表现卓越
　　-可变机械连接方式可轻松安装于不同的应用环境中
　　-内置安全插件可适用于更多的应用