韩国原装进口高气体质量流量计/气体质量流量控制器，使用特别的热传感器和控制电路提高计算。广泛应用于半导体工业和其他行业，产品设计坚固、耐用，且经济。

应用：

   LINE TECH气体质量流量流量计和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。

优势：

l 测量质量流量

l 不需要温度、压力补偿

l 紧凑的流量控制系统

l 高（±1%F.S）

l 耐高压（90公斤）

l 快速响应时间（＜1秒）

l 高重复性（±0.25%F.S)

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规格：