产品介绍

PV-1000系列无接触硅片厚度TTV电阻率综合测试系统为太阳能/光伏硅片及其他材料提供快速、多通道的厚度、（总厚度变化）TTV、翘曲及无接触电阻率测量功能。并提供基于TCP/IP的数据传输接口及基于Windows的控制软件，用以进行在线及离线数据管理功能。

无接触硅片综合测试系统-产品特点

■ 使用MTI Instruments独有的推/拉电容探针技术
■ 每套系统提供多三个测量通道
■ 可进行、小、平均厚度测量和TTV测量
■ 可进行翘曲度测量（需要3探头）
■ 用激光传感器进行线锯方向和深度监视（可选）
■ 集成数据采集和电气控制系统
■ 为工厂测量提供快速以太网通讯接口，速率为每秒5片
■ 可增加的直线厚度扫描数量
■ 与现有的硅片处理设备有数字I/O接口
■ 基于Windows的控制软件提供离线和在线的数据监控
■ 提供标准及客户定制的探头
■ 提供基于Windows的动态链接库用于与控制电脑集成
■ 用涡电流法测量硅片电阻率

无接触硅片综合测试系统-技术指标

■ 晶圆硅片测试尺寸：50mm- 300mm.

■   厚度测试范围：1.7mm，可扩展到2.5mm.

■   厚度测试：+/-0.25um

■   厚度重复性：0.050um

■   测量点直径：8mm

■  TTV 测试:  +/-0.05um
■  TTV重复性: 0.050um

■   弯曲度测试范围： +/-500um [+/-850um]

■   弯曲度测试： +/-2.0um

■   弯曲度重复性： 0.750um

■ 电阻率测量范围：5-2000ohm/sq（0.1-40ohm-cm）
■ 电阻率测量：2%

■ 电阻率测量重复：1%

■晶圆硅片类型：单晶或多晶硅

■材料：Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有半导体材料

■可用在：切片后、磨片前、后，蚀刻，抛光以及出厂、入厂质量检测等

■平面/缺口：所有的半导体标准平面或缺口

■ 硅片安装：裸片，蓝宝石/石英基底，黏胶带

■ 连续5点测量

应用范围

> 切片

>>线锯设置

　　　　>>>厚度

    　　>>>总厚度变化TTV

     >>监测

>>>导线槽

>>>刀片更换

>磨片/刻蚀和抛光

>> 过程监控

>> 厚度

>>总厚度变化TTV

>> 材料去除率

>> 弯曲度

>> 翘曲度

>> 平整度

>　研磨

>> 材料去除率

>　终检测

>>　抽检或全检

>>  终检厚度

典型客户
美国，欧洲，亚洲及国内太阳能及半导体客户。