缺陷分析－声波扫描显微镜（ＳＡＭ）
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声学显微镜，学名是：扫描声学显微镜Scanning Acoustic Microscope，简称SAM。它是基于声波脉冲反射和透射原理工作的，只要声波信号在样品表面或者内部遇到声波阻抗（如遇到孔隙、气泡等），就会发生反射。
SAM主要用于材料浅表层结构分析、材料力学性能的检测、无损检测等。
A、 杂质颗粒、夹杂物、沉淀物等
B、 裂纹
C、 分层缺陷、附着物以及其他夹杂物
D、 空洞、气泡、空隙等
SAM与X-RAY的主要区别
| SAM | X-RAY |
成像模式 | 反射模式和穿透模式 | 穿透模式 |
原理 | 声波脉冲反射和透射 | 基于材料密度的差异 |
材料的穿透性 | 密集和疏松的固体都能 | 金属材料穿透较差 |
对空气的敏感性 | 空气能阻断超声波传输，确定焊接层、粘接层、填充层、涂镀层、结合层的完整是SAM独特的性能 | 对空气不是非常敏感，裂纹虚焊等不能被观测到 |
材料的无损性 | 使用于MHz超声波，不会产生气穴，完全无损 | 较长时间检测，可能会产生损坏和随机的电子错误 |
所得图像 | 可以分层展现材料内部一层一层的图像 | 整个样品厚度的一个合成图像 |
仪器简介：德国KSI-SAM
一、1990年，世界上个做出频率超过GHz的超1990年，世界上个做出频率超过GHz的超声波扫描显微镜，到目前为
止，其他同类仪器公司只能做到200MHz 左右；
二，1991年，世界上个在超声波显微镜中做出GHz V(z), V(f)定量测量系统；
三，1996年，推出世界上台数字超声波显微镜；
四，1998年，世界上个做出带有球面透镜的超声波换能器；
五，2002年，世界上个在超声波显微镜上实现材料阻抗测量；
六，2004年，世界上个在超声波显微镜扫描控制平台中采用空气垫悬浮线性马达驱动的超高X-Y扫描系统；
七，2004年，世界上个实现超声波显微镜自动对焦系统，并受到保护；
八，2004年，世界上个实现多探头同时扫描大件样品的超声波显微镜系统，并受到保护。