大尺寸氟化钙CaF2：直径可达350mm，厚度超过100mm，157nm高透射率。
　　应用领域
　　集成电路光刻：制造工具
　　集成电路光刻：157nm，193nm，248nm准分子激光光束传输系统
　　
　　非光刻：激光和成像光学
　　关键特性
　　优异的深紫外透射性具体材料指标，
　　高激光耐久性
　　低应力双折射
　　高折射率一致性
　　紫外透射率曲线
　　透射率曲线