项目 / 型式

SURFCOM  C5 Type-C

SURFCOM  C5 Type-S

   量测范围

  Z轴（纵方向）

1000μm

  X轴（横方向）

200mm

   移动范围

  Z轴（上下）

500mm (分辨率：0.1μm)

  X轴（驱动部）

200mm (分辨率：0.1μm)

  Y轴（前后）

800mm (分辨率：0.1μm)

  Y轴（测头驱动部）

 30mm (分辨率：0.1μm)

  旋转角度 (测头)

0°、90°、180°、270°

－

   驱动部真直度

X轴：0.5μm/200mm、Y轴：0.5μm/30mm

   参数

 Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax,Rt,Rz.J,R3z,Sm,S,RΔa,RΔq,Rλa,Rλq,

 TILT A,Ir,Pc,Rsk,Rku,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr,tp2,Rmr2,

 Rδc,AVH,Hmax,Hmin,AREA,NCRX,R,Rx,AR,NR,CPM,SR,SAR

   显示纵倍率

50～500K倍

   显示横倍率

0.1～20K倍

   驱动速度

  上下速度(Z轴)

Max 100mm/s

  测量速度(X轴)

0.03～3mm/s（粗度量测时）、0.03~20mm/s（形状量测时）

  移动速度(X轴)

Max 100mm/s

  移动速度(Y轴)

Max 100mm/s

   测针

  半径

0.75mN

10mN

  测定力

2μmR

5μmR

  材质

钻石材质

   其它

  电源

单相AC100~230V±10﹪、50/60Hz

  消费电力

1000VA

  重量

2000kg

1700kg